三轴加速度传感器原理

三轴加速度传感器的主要类型有压阻式、压电式和电容式。

1.压阻式三轴加速度传感器

压阻式加速度传感器是一种利用压阻效应现象的传感器，当向压阻元件施加力时，电阻会发生变化。压阻元件放置在传感器元件的可移动部分和固定部分之间的接合处，当施加加速度时，力从可移动部分施加到压阻元件，从而改变电阻值。通过该电阻值的变化来检测加速度。

2. 压电三轴加速度传感器

压电加速度传感器是一种利用压电效应的传感器，压电效应是一种当对压电物体施加力时发生极化并产生电压的现象。压电元件放置在传感器元件的可移动部分和固定部分之间的接合处，当施加加速度时，力从可移动部分施加到压电元件，从而产生电荷。从该电荷变化中检测到加速度。

3. 电容式三轴加速度传感器

利用电极之间的电容变化进行检测。传感器元件内部有固定电极和可动电极。当施加加速度时可动电极移动，其与固定电极之间的间隙发生变化，并且电极之间的电容发生变化。根据电容的变化检测加速度。