形状分析激光显微镜原理

形状分析激光显微镜通过照射激光束并检测反射光来获取表面形状信息。

1. 2D形状

光的强度随着距离的平方而减小，因此监测反射光的强度可以告诉您到表面的距离。此时，如果插入来自非焦点的光，则反射光的增加或减少将被平均，灵敏度将下降。

为了防止这种情况，形状分析激光显微镜采用共焦光学系统，在共轭焦平面上放置一个针孔，以滤除非焦平面上的多余光线。通过沿 X 和 Y 方向进行激光扫描，可以获得到表面的精确距离信息作为二维信息。

2. 3D形状

此外，通过沿Z方向扫描物镜，可以进行三维3D形状分析。根据阿贝定律，平面方向的空间分辨率取决于激光的波长，就像一般的光学显微镜一样。

因此，如果样品没有问题，则可以使用波长较短（例如405 nm）的近紫外激光进行高分辨率测量。