什么是形状分析激光显微镜？

3D激光扫描共焦显微镜（英文：3D Laser Scanning Confocal Microscope）是一种可以利用激光测量物体表面形状的显微镜。

有一些具有类似功能的显微镜配备了悬臂梁等接触式探针，但由于它们接触表面，因此存在损坏或损坏样品的风险。另一方面，形状分析激光显微镜使用光反射，因此可以进行非接触检查。

光学系统与一般共焦激光显微镜完全相同，但为了获得3D信息，市场上有许多产品通过采用高速MEMS扫描仪和共振扫描仪来缩短扫描时间。