等离子设备原理

当物质的温度升高时，其状态从固态变为液态，又从液态变为气态。当气体温度升高时，原子中的电子分离，分离成正离子和电子。这种现象称为电离，电离产生的高能气体就是等离子体。

等离子设备有两种类型：常压等离子设备和低压等离子设备。

1、常压等离子装置

顾名思义，常压等离子体装置就是在常压下产生等离子体的装置。通过使稀有气体或氧气通过施加高电压的电极来产生等离子体。

它不需要真空环境，并且比低压等离子体具有更高的离子密度。但缺点是需要使物体尽可能靠近照射位置。

2、低压等离子装置

低压等离子体装置是在真空环境下产生等离子体的装置。使用仅限于真空环境，但不需要气体。此外，即使设备放置在距目标一定距离的地方也可以进行照射，因此无需担心设备安装在哪里。