Kashiyama樫山工业 SDE303XTX 全新原装 电极干燥
干式真空泵干式真空泵介绍您可以信赖的真空技术。展现卓越实力的多元化产品群。Kashiyama 的产品在半导体和液晶制造等众多现代尖端领域深受客户信赖。这种信任的基础是我们多年来培育的真空技术。尤其是干泵系列，已成为半导体制造工艺的标准，可以说是该真空技术的巅峰之作，在最广泛的应用中展现出最高的可靠性，受到了客户的高度赞誉。困难的过程..橿山真空技术创造的产品，不仅是干泵，还有机械增压泵和真空泵，正
干式真空泵
干式真空泵介绍
您可以信赖的真空技术。展现卓越实力的多元化产品群。
Kashiyama 的产品在半导体和液晶制造等众多现代尖端领域深受客户信赖。
这种信任的基础是我们多年来培育的真空技术。
尤其是干泵系列，已成为半导体制造工艺的标准，可以说是该真空技术的巅峰之作，在最广泛的应用中展现出最高的可靠性，受到了客户的高度赞誉。困难的过程..
橿山真空技术创造的产品，不仅是干泵，还有机械增压泵和真空泵，正在许多领域展示其威力。
主要型号
| 型号*1 | SDX600 | SDT600 | SDX1200 | SDT1200 | SDX1800 | SDT1800 | SDH3000 *5 | SDH6000 *5 |
| 最大抽速 [L/min] *2 | 10,000 | 18,000 | 19,000 | 30,000 | 50,000 | 100,000 | ||
| 极限压力 [Pa] *2 | 0.5 | 0.3 | 0.5 | |||||
| 氮气流量[SLM] | 0 至 80 | 0 到 120 | ||||||
| 冷却水流量[L/min] | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 4.0 | 4.0 |
| 消耗功率 [kW] *3 | 1.5 | 3.0 | 1.65 | 3.15 | 2.1 | 3.3 | 3.3 | 3.7 |
| 外形尺寸 [mm] *4 | L。 | 695 | 695 | 850 | 910 | 1050 | ||
| W. | 第285章 | 第285章 | 380 | 第420章 | 515 | |||
| H。 | 850 | 850 | 950 | 900 | 950 |
*1) SDX 节能/赫什工艺兼容机、SDT/SDH 耐工艺/超严酷工艺兼容机
*2)不使用 N2 吹扫时的值。*3) 最终运行期间的大约功耗。*4) 封装尺寸。如需详细尺寸，请索取外部图纸。
*5) 我们拥有一系列具有优异加工耐受性的产品，因此请联系我们的销售代表。
规格和型号名称如有变更，恕不另行通知。*请联系我们了解兼容的气体类型。