ESR 类型

适用于腐蚀工艺的节能干式真空泵

节能耐腐蚀材料选项不同频率下性能相同（50/60Hz）无油符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求目录询问

产品介绍

独特的转子设计和空转功能实现了节能和紧凑的尺寸。这有助于降低运行成本。此外，还提供耐腐蚀材料选项，可用于广泛的应用，从轻负载应用（例如负载锁和 SEM）到腐蚀过程。

规格

模型单元ESR20NESR30ESR30NESR500W(N)
抽气速度升/分钟1,300 ~ 2,0003,0003,00046,000
极限压力帕20.530.670.2
连接口尺寸进气
NW40NW50NW50ISO160
排气口
NW40NW40NW40NW40
极限压力下的近似功率值千瓦0.71.71.73.1
冷却水流动升/分钟2~83.5~83.5~83.5~8
温度℃最大限度。三十最大限度。三十最大限度。三十最大限度。三十
氮气流动帕•立方米/秒19~22 (0)19~22（3.4）19~22（3.4）19~22（3.4）
电源相位/电压/频率200V 型号
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
400V 型号
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
供电容量千伏安47712.3
近似质量公斤90190190500

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