池田屋现货 EBARA荏原机械 ESR300WN 精密紧凑型真空泵
池田屋现货 EBARA荏原机械 ESR300WN 精密紧凑型真空泵池田屋现货 EBARA荏原机械 ESR300WN 精密紧凑型真空泵语言询问关于荏原编辑部业务与产品支持股东/投资者信息可持续发展技术信息招聘顶部产品查找器ESR 类型ESR 类型适用于腐蚀工艺的节能干式真空泵节能耐腐蚀材料选项不同频率下性能相同（50/60Hz）无油符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求目录询问产品介绍
- 型号： ESR300WN
池田屋现货 EBARA荏原机械 ESR300WN 精密紧凑型真空泵
池田屋现货 EBARA荏原机械 ESR300WN 精密紧凑型真空泵
独特的转子设计和空转功能实现了节能和紧凑的尺寸。这有助于降低运行成本。此外，还提供耐腐蚀材料选项，可用于广泛的应用，从轻负载应用（例如负载锁和 SEM）到腐蚀过程。 适合节能和高负荷工艺的干式真空泵 节能、节省空间的干式真空泵 集成式干式真空泵及废气处理系统，可优化腔体排气及废气处理工艺，降低集成及管理成本。ESR 类型
适用于腐蚀工艺的节能干式真空泵
节能耐腐蚀材料选项不同频率下性能相同（50/60Hz）无油符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求目录询问产品介绍
规格
模型 单元 ESR20N ESR30 ESR30N ESR500W(N) 抽气速度 升/分钟 1,300 ~ 2,000 3,000 3,000 46,000 极限压力 帕 2 0.53 0.67 0.2 连接口尺寸 进气 NW40 NW50 NW50 ISO160 排气口 NW40 NW40 NW40 NW40 极限压力下的近似功率值 千瓦 0.7 1.7 1.7 3.1 冷却水 流动 升/分钟 2~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 温度 ℃ 最大限度。三十 最大限度。三十 最大限度。三十 最大限度。三十 氮气 流动 帕•立方米/秒 19~22 (0) 19~22（3.4） 19~22（3.4） 19~22（3.4） 电源相位/电压/频率 200V 型号 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz400V 型号 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz供电容量 千伏安 4 7 7 12.3 近似质量 公斤 90 190 190 500 同类产品
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