EV-M型

适合节能和高负荷工艺的干式真空泵

高负荷工艺支持高温控制节能采用耐腐蚀材料作为标准提高耐腐蚀性的选择不同频率下性能相同（50/60Hz）无油符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求目录询问

产品介绍

荏原独特的高温技术支持半导体、液晶显示器和太阳能电池制造过程中产生反应副产物的高负荷工艺。高节能性能可同时实现高负荷工艺和节能。标准配置为耐腐蚀材料，并且还包括排量为110,000 L/min的大排量型号。我们拥有适合各种工艺条件的丰富产品阵容，能够处理各种高负荷工艺。

规格

模型单元EV-M20NEV-M102NEV-M202NEV-M302NEV-M502NEV-M505SFEV-M802NEV-M805SFEV-M1205SF
抽气速度升/分钟1,80010,00020,00030,0005万5万8万8万110,000
极限压力帕50.50.50.50.50.50.50.50.5
连接口尺寸进气
NW40ISO100ISO100ISO100ISO160ISO160ISO200ISO200ISO200
排气口
NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40
极限压力下的近似功率值千瓦1.21.81.92.32.13.92.84.65.3
冷却水流动升/分钟3~83~83.5~84~85~85~85~85~85~8
温度℃最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30
氮气流动帕•立方米/秒26~3126~3126~3126~3128~3322828~3322834~35
电源相位/电压/频率200V 型号
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz		三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
400V 型号
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		-三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz		三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
供电容量千伏安3.35.466.87.115.78.319.414.2
近似质量公斤170320360400500580740820870

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