原厂供货 EBARA荏原机械 EMT3400MK 油脂润滑滚珠轴承型分子泵
原厂供货 EBARA荏原机械 EMT3400MK 油脂润滑滚珠轴承型分子泵原厂供货 EBARA荏原机械 EMT3400MK 油脂润滑滚珠轴承型分子泵语言询问关于荏原编辑部业务与产品支持股东/投资者信息可持续发展技术信息招聘顶部产品查找器EV-M型EV-M型适合节能和高负荷工艺的干式真空泵高负荷工艺支持高温控制节能采用耐腐蚀材料作为标准提高耐腐蚀性的选择不同频率下性能相同（50/60Hz）无油符合
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原厂供货 EBARA荏原机械 EMT3400MK 油脂润滑滚珠轴承型分子泵
原厂供货 EBARA荏原机械 EMT3400MK 油脂润滑滚珠轴承型分子泵
荏原独特的高温技术支持半导体、液晶显示器和太阳能电池制造过程中产生反应副产物的高负荷工艺。高节能性能可同时实现高负荷工艺和节能。标准配置为耐腐蚀材料，并且还包括排量为110,000 L/min的大排量型号。我们拥有适合各种工艺条件的丰富产品阵容，能够处理各种高负荷工艺。 干式真空泵可抽取大量气体，适用于反应副产物 适用于腐蚀工艺的节能干式真空泵 集成式干式真空泵及废气处理系统，可优化腔体排气及废气处理工艺，降低集成及管理成本。EV-M型
适合节能和高负荷工艺的干式真空泵
高负荷工艺支持高温控制节能采用耐腐蚀材料作为标准提高耐腐蚀性的选择不同频率下性能相同（50/60Hz）无油符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求目录询问产品介绍
规格
模型 单元 EV-M20N EV-M102N EV-M202N EV-M302N EV-M502N EV-M505SF EV-M802N EV-M805SF EV-M1205SF 抽气速度 升/分钟 1,800 10,000 20,000 30,000 5万 5万 8万 8万 110,000 极限压力 帕 5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 连接口尺寸 进气 NW40 ISO100 ISO100 ISO100 ISO160 ISO160 ISO200 ISO200 ISO200 排气口 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 NW40 极限压力下的近似功率值 千瓦 1.2 1.8 1.9 2.3 2.1 3.9 2.8 4.6 5.3 冷却水 流动 升/分钟 3~8 3~8 3.5~8 4~8 5~8 5~8 5~8 5~8 5~8 温度 ℃ 最多 30 最多 30 最多 30 最多 30 最多 30 最多 30 最多 30 最多 30 最多 30 氮气 流动 帕•立方米/秒 26~31 26~31 26~31 26~31 28~33 228 28~33 228 34~35 电源相位/电压/频率 200V 型号 三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz400V 型号 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz- 三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz供电容量 千伏安 3.3 5.4 6 6.8 7.1 15.7 8.3 19.4 14.2 近似质量 公斤 170 320 360 400 500 580 740 820 870 相关信息
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