• 小于10ppm

• 10ppm以上

• 1000ppm（0.1%）以上

• 负压/大气压

• 直流电源

• 串行通讯输出

• CE标志

多点氧浓度计MS-500/MS-510/SD传感器系列是利用我们在半导体和电子行业积累的氧浓度计制造技术开发的，可用于包括真空设备在内的各种设备。这是一个产品。
配备了我们独特的紧凑型氧化锆传感器，可以长时间进行稳定和高精度的测量，并且还配备了氧传感器保护机制，实现了超越传统产品的耐用性。此外，通过将氧气传感器和转换器分离并添加最多8个检测器，可以同时测量。该氧气浓度计易于操作，最适合集成到各种处理设备中。

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• 操作说明

产品特点

主要装置特点

・最多同时测量8点

使用一台控制器最多可同时测量 8 点。

（转换器/SD 传感器组作为选项添加）

・实现低成本、节省空间

非常适合安装和集成到批量生产的机器中。

・可选支持

通过将传输输出更改为 LAN 规格，可以从 LAN 连接器进行输出。

传感器特点

・对应真空气氛

这是一种无需采样的直插式传感器，即使在真空气氛中也可以进行测量。

・超快响应

使用单独的传感器实现最短的响应。

・高耐久性传感器

传感器采用特殊涂层，以实现高耐用性。

*有关SD传感器的详细功能和规格，请查看SD传感器产品目录。

・标准等

CE 标志...EN61010-1、EN61326-1
RoHS 指令...EN63000

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