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KURAKA仓敷化工 池田屋 主动隔振装置[直线电机控制]LH型EST-L5HR-M
KURAKA仓敷化工 池田屋 主动隔振装置[直线电机控制]LH型EST-L5HR-MEST-L5HR-LEST-L5HR-MEST-L5HR-HEST-L6HF-LEST-L6HF-MEST-L6HF-H执行器直线电机控制方式FB/FF 6自由度控制调平方法自动调平控制器*1数字控制器负载质量（kg）*2190～320240～350290～400340～570500～660630～750隔离器外
KURAKA仓敷化工 池田屋 主动隔振装置[直线电机控制]LH型EST-L5HR-M
| EST-L5HR-L | EST-L5HR-M | EST-L5HR-H | EST-L6HF-L | EST-L6HF-M | EST-L6HF-H | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 执行器 | 直线电机 | |||||
| 控制方式 | FB/FF 6自由度控制 | |||||
| 调平方法 | 自动调平 | |||||
| 控制器*1 | 数字控制器 | |||||
| 负载质量（kg）*2 | 190～320 | 240～350 | 290～400 | 340～570 | 500～660 | 630～750 |
| 隔离器外形尺寸（mm） | 220×220 | 240×240 | ||||
| 隔离器安装尺寸（mm） | 200×200 | 220×220 | ||||
| 工作高度（毫米） | 176 | 185 | ||||
| 隔离器质量（kg） | 20 | 29 | ||||