Hugle藤宫

池田屋原装 Hugle藤宫 池田屋 带有夹环自动夹紧机构的晶圆扩展设备 HS-1840

池田屋原装 Hugle藤宫 池田屋 带有夹环自动夹紧机构的晶圆扩展设备 HS-1840

日本 Hugle藤宫 池田屋 带有夹环自动夹紧机构的晶圆扩展设备 HS-1840产品概述通过马达驱动使载物台上升，可以进行高精度的行程设定。载物台行程调节机构（可设置为 1 mm 增量/Max80 mm）触控面板控制可以扩展配方存储（4 个配方）薄膜预热机构（带定时器）舞台加热（最高100℃）舞台上升速度可变机构薄膜自动切割机构最大晶圆尺寸 8 英寸支持各种扩展环和框架可用于晶圆和芯片转移应用

日本 Hugle藤宫   池田屋 带有夹环自动夹紧机构的晶圆扩展设备 HS-1840

产品概述

  • 通过马达驱动使载物台上升，可以进行高精度的行程设定。

  • 载物台行程调节机构（可设置为 1 mm 增量/Max80 mm）

  • 触控面板控制

  • 可以扩展配方存储（4 个配方）

  • 薄膜预热机构（带定时器）

  • 舞台加热（最高100℃）

  • 舞台上升速度可变机构

  • 薄膜自动切割机构

  • 最大晶圆尺寸 8 英寸

  • 支持各种扩展环和框架

  • 可用于晶圆和芯片转移应用