FUJIKOSHI不二越 池田屋 抛光晶圆剥离储存设备

FUJIKOSHI不二越 池田屋 抛光晶圆剥离储存设备☆对粘在板上的晶圆进行抛光后，将剥离的晶圆存放在盒中☆当用刀等剥离板上的晶圆时，晶圆沿着滑槽滑下并自动存储在盒中。喷射器呈一定角度，通过水流输送晶圆，因此在晶圆和喷射器之间形成一层水膜，防止输送过程中出现划痕。☆晶圆插入盒的部分位于水下，几乎不会出现划痕。到水膜。