FUJIKOSHI不二越 池田屋 供应 原装 高速旋转抛光设备研发SLM-140H
FUJIKOSHI不二越 池田屋 供应 原装 高速旋转抛光设备研发SLM-140H高速旋转抛光设备研发 ●平台可高速旋转，最高支持1000[rpm]。●抛光方式可以用1个平台和1个头加工最大4英寸的晶圆。●在抛光载荷方向（垂直）和水平方向上都安装了测力传感器，可以监测抛光过程中的摩擦系数。●具备使用各种传感器的监视功能和数据记录功能。
FUJIKOSHI不二越 池田屋 供应 原装 高速旋转抛光设备研发SLM-140H
高速旋转抛光设备研发
●平台可高速旋转，最高支持1000[rpm]。
●抛光方式可以用1个平台和1个头加工最大4英寸的晶圆。
●在抛光载荷方向（垂直）和水平方向上都安装了测力传感器，可以监测抛光过程中的摩擦系数。
●具备使用各种传感器的监视功能和数据记录功能。