FUJIKOSHI不二越 池田屋 供应 原装 SPM-11复合半导体抛光机
FUJIKOSHI不二越 池田屋 供应 原装 SPM-11复合半导体抛光机复合半导体抛光机 ☆对附着在基板上的硅片等进行高精度、高效率的研磨的机器。☆转盘可通过单拨轮从0至70转/分钟无级变速，并配有缓冲启动装置，因此不会损坏晶圆。☆抛光负载为自重系统，因此4轴之间没有负载变化。 （5%以内）☆主机架正面一处即可搬入、取出、拆除基板，减少了操作者的活动范围，节省了设备空间。
FUJIKOSHI不二越 池田屋 供应 原装 SPM-11复合半导体抛光机
复合半导体抛光机
☆对附着在基板上的硅片等进行高精度、高效率的研磨的机器。
☆转盘可通过单拨轮从0至70转/分钟无级变速，并配有缓冲启动装置，因此不会损坏晶圆。
☆抛光负载为自重系统，因此4轴之间没有负载变化。 （5%以内）
☆主机架正面一处即可搬入、取出、拆除基板，减少了操作者的活动范围，节省了设备空间。