FUJIKOSHI不二越 池田屋 单面抛光机 高精度、高速单面抛光机 SPM-12A
FUJIKOSHI不二越 池田屋 单面抛光机 高精度、高速单面抛光机 SPM-12A高精度、高速单面抛光机 ☆这是一种对附着在基板上的工件进行高效、高精度抛光的机器。☆可加工φ2英寸至φ4英寸的工件。☆采用气压方式可任意控制抛光负荷。☆转盘可从0至60转/分钟无级变速,并配有缓冲启动,因此不会损坏晶圆。
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FUJIKOSHI不二越 池田屋 单面抛光机 高精度、高速单面抛光机 SPM-12A
高精度、高速单面抛光机
☆这是一种对附着在基板上的工件进行高效、高精度抛光的机器。
☆可加工φ2英寸至φ4英寸的工件。
☆采用气压方式可任意控制抛光负荷。
☆转盘可从0至60转/分钟无级变速,并配有缓冲启动,因此不会损坏晶圆。