FUJIKOSHI不二越 池田屋 单面抛光机 SPM-14A 高速单面抛光机
FUJIKOSHI不二越 池田屋 单面抛光机 SPM-14A 高速单面抛光机 兼容氧化物的高精度、高速单面抛光机 ☆这是一种高效、高精度地研磨基板上附着的氧化物等的机器。☆仅适用于φ3英寸至φ4英寸晶圆。☆采用气压方式可任意控制抛光负荷。☆转盘可从0至60转/分钟无级变速，并配有缓冲启动，因此不会损坏晶圆。
FUJIKOSHI不二越 池田屋 单面抛光机 SPM-14A 高速单面抛光机
兼容氧化物的高精度、高速单面抛光机
☆这是一种高效、高精度地研磨基板上附着的氧化物等的机器。
☆仅适用于φ3英寸至φ4英寸晶圆。
☆采用气压方式可任意控制抛光负荷。
☆转盘可从0至60转/分钟无级变速，并配有缓冲启动，因此不会损坏晶圆。