FUJIKOSHI不二越

FUJIKOSHI不二越 池田屋 单面抛光机 SPM-19 高集成抛光机 原装供应

FUJIKOSHI不二越 池田屋 单面抛光机 SPM-19 高集成抛光机 原装供应 是对附着在基板上的硅片等进行高精度、高效率研磨的装置。☆可实现φ8英寸晶圆的高精度、高效率抛光。☆转盘可通过单个拨盘从0至50转/分无级变速,并配有缓冲启动装置,因此不会损坏晶圆。☆抛光负载为自重系统,因此4轴之间没有负载变化。 (5%以内)☆ 通过安装卸料臂,可自动卸出基板,可实现自动化的推进。

FUJIKOSHI不二越   池田屋  单面抛光机  SPM-19  

高集成抛光机  原装供应 


 

是对附着在基板上的硅片等进行高精度、高效率研磨的装置。
☆可实现φ8英寸晶圆的高精度、高效率抛光。
☆转盘可通过单个拨盘从0至50转/分无级变速,并配有缓冲启动装置,因此不会损坏晶圆。
☆抛光负载为自重系统,因此4轴之间没有负载变化。 (5%以内)
☆ 通过安装卸料臂,可自动卸出基板,可实现自动化的推进。