FUJIKOSHI不二越 池田屋 单面抛光机 SPM-23 基板上的硅片等进行高精度
FUJIKOSHI不二越 池田屋 单面抛光机 SPM-23 基板上的硅片等进行高精度 适合批量生产的大直径抛光机 ☆对附着在基板上的硅片等进行高精度、高效率的研磨的机器。☆本机为φ8英寸晶圆高精度、高效率抛光专用机。☆转盘可通过单个拨盘从0至50转/分无级变速，并配有缓冲启动装置，因此不会损坏晶圆。☆抛光负载为自重系统，因此4轴之间没有负载变化。☆底板可在主体架正面一处装卸、拆卸，减少操作
FUJIKOSHI不二越 池田屋 单面抛光机 SPM-23 基板上的硅片等进行高精度
适合批量生产的大直径抛光机
☆对附着在基板上的硅片等进行高精度、高效率的研磨的机器。
☆本机为φ8英寸晶圆高精度、高效率抛光专用机。
☆转盘可通过单个拨盘从0至50转/分无级变速，并配有缓冲启动装置，因此不会损坏晶圆。
☆抛光负载为自重系统，因此4轴之间没有负载变化。
☆底板可在主体架正面一处装卸、拆卸，减少操作者的活动范围，节省设备空间。
☆ 通过安装卸料臂，可自动卸出基板，可提高自动化程度。