FUJIKOSHI不二越 池田屋 单面抛光机 LSP-19A 晶圆单面抛光设备

FUJIKOSHI不二越 池田屋 单面抛光机 LSP-19A 晶圆单面抛光设备带顶环轴强制驱动顶环回气机构可以控制陶瓷板内的晶圆形状。抛光负载采用精密气压法