FUJIKOSHI不二越

FUJIKOSHI不二越 池田屋 抛光机 容12英寸晶圆,可批量加工20片晶圆 USP-32BP

FUJIKOSHI不二越 池田屋 抛光机 容12英寸晶圆,可批量加工20片晶圆 USP-32BP.☆兼容12英寸晶圆,可批量加工20片晶圆。☆下定盘、上定盘、太阳齿轮、内齿轮分别被驱动,因此可以更优化地设定转速。☆无级变速,可以选择适合工件的转速。☆通过在上平台提升机上安装弹簧机构(专利),可以减少平台着陆时的冲击并平稳地传递负载。

FUJIKOSHI不二越   池田屋  抛光机 容12英寸晶圆,可批量加工20片晶圆 USP-32BP.

☆兼容12英寸晶圆,可批量加工20片晶圆。
☆下定盘、上定盘、太阳齿轮、内齿轮分别被驱动,因此可以更优化地设定转速。
☆无级变速,可以选择适合工件的转速。
☆通过在上平台提升机上安装弹簧机构(专利),可以减少平台着陆时的冲击并平稳地传递负载。