SAYAMA日本 池田屋 纯度化学流量传感器 U702 系列
SAYAMA日本 池田屋 纯度化学流量传感器U702 系列特征U701/702/705/706系列是流量传感器，可以精确测量低粘度液体，从15 mL/min等小流量到50 L/min等大流量。获得专利的冲击式微型涡轮机叶轮具有出色的重复性，专为超清洁应用而设计。没有颗粒污染过程，并且可以在很长一段时间内进行准确的测量。该系列接液部件材质为PTFE/蓝宝石，因此可以与氢氟酸、其他酸、CMP浆料、
SAYAMA日本 池田屋 纯度化学流量传感器
U702 系列
特征
U701/702/705/706系列是流量传感器，可以精确测量低粘度液体，从15 mL/min等小流量到50 L/min等大流量。获得专利的冲击式微型涡轮机叶轮具有出色的重复性，专为超清洁应用而设计。没有颗粒污染过程，并且可以在很长一段时间内进行准确的测量。该系列接液部件材质为PTFE/蓝宝石，因此可以与氢氟酸、其他酸、CMP浆料、溶剂、纯水、显影剂等几乎所有低粘度液体一起使用。
规格
【标准范围】
15-100ml/min、20-200ml/min、50-500ml/min、100-1000ml/min、200-2000ml/min、500-5000ml/min、1-10L/min、2-20L/min min,3~30L/min,5~50L/min
[精度]
±3.0%FS, (重复性) ±0.2%FS
[工作温度]
0~55℃, (选项) 0~90℃
[输出]
0~5VDC , 0~10VDC, 4~20mA
[使用粘度]
10cst 以下
[连接方式]
1/4", 3/8", 3/4", 外螺纹