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SAYAMA日本 池田屋 化工液体流量传感器 106系列 低粘度15ml/min~

SAYAMA日本 池田屋 化工液体流量传感器106系列低粘度15ml/min~特征106 型流量传感器可以精确测量低粘度液体,从小流量(如 15 mL/min)到大流量(如 50 L/min)。获得专利的冲击式微型涡轮机叶轮具有出色的重复性,专为超清洁应用而设计。与液体接触的材料有Teflon、Kalrez、蓝宝石等,因此可以与氢氟酸、其他酸、CMP浆料、溶剂、纯水、显影液等几乎所有低粘度液体

SAYAMA日本   池田屋 化工液体流量传感器

106系列

低粘度15ml/min~

特征

106 型流量传感器可以精确测量低粘度液体,从小流量(如 15 mL/min)到大流量(如 50 L/min)。获得专利的冲击式微型涡轮机叶轮具有出色的重复性,专为超清洁应用而设计。与液体接触的材料有Teflon、Kalrez、蓝宝石等,因此可以与氢氟酸、其他酸、CMP浆料、溶剂、纯水、显影液等几乎所有低粘度液体一起使用。

规格

【标准范围】
15-100ml/nin、20-200ml/min、50-500ml/min、100-1000ml/min、200-2000ml/min、500-5000ml/min、1-10L/min、
【准确度】
± 1.0%FS至±3.0%FS,(再现性)±0.2%FS
[工作温度]
5至55℃,(选项):5至85℃
[输出]
4至20mA,0至5VDC,0至10VDC,脉冲( Hz)
[使用粘度]
10cst 以下
[连接部分]
1/8", 1/4", 3/8" PFA 管,(选项:1/4", 3/8" PFA 外螺纹喇叭口)